1流量過低
　　探頭過濾器堵塞或取樣泵工作不正常是主要原因，氣體分析儀內部為了減緩氣體流速，增加了一個用塑料做的氣體擴容器，在長時間有腐蝕性氣體的沖刷下，可能產生破損現象，也應檢查擴容器完整情況。在檢查清除泄漏后，要及時處理。
 

2保護過濾器故障
　　保護過濾器的故障主要表現在積塵過多和過濾器變色。積塵過多的主要原因是探頭過濾器損壞，應及時檢查清洗或更換。過濾器變色應及時檢查探頭加熱、取樣管加熱、冷凝器、蠕動泵工作是否正常。如果保護過濾器異常不及時處理，可能造成取樣管線的堵塞。那時清洗的工作量將會很大。
 

3冷凝器故障
　　冷凝器故障主要表現在其后管路有水汽，這時應檢查蠕動泵泵管是否正常，如泵管不在正常位置時應及時調整，如泵管損壞應及時更換。
 

4自動校準漂移過大
　　自動校準漂移過大，應檢查使用標氣是否過期，一般的標準氣體的保質期為半年左右，另外因為校準是在氣體分析室進行的，應檢查氣體分析室是否被污染，檢測器是否損壞，紅外光源是否充足。

5粉塵儀故障

　　當看到顯示粉塵儀的測量數據有異常時，應及時檢查粉塵儀的保險絲是否被燒斷或者發射端的變壓器是否被燒毀，如果確定是，則需寄回廠家維修。另一個原因是粉塵儀發射端得燈泡是個消耗品，當連續使用一段時間后，燈泡的光強度可能衰減到很低的水平或者燈泡的燈絲被燒斷，如果燈泡還有亮度但強度不夠，應及時更換。